会议专题

薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究

本文对薄膜电阻器件的低频噪声测试方法进行了研究。文章给出了薄膜电阻器件低频噪声测试的一般方法并探讨了样品在低阻和裸片情况下进行低频噪声信号测试应采用的技巧和注意事项。

集成电路 薄膜电阻 低频噪声 可靠性分析

吴勇 庄奕琪 杜磊 魏文彦

西安电了科技大学微电了学院,西安,710071 西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071 中国航大时代电了公司第771研究所,西安,710054

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第十四届全国混合集成电路学术会议

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2005-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)