MOS器件寿命的快速评价方法

摘要：

采用加速寿命试验方法撮了晶片级MOS管的HU氏模型的工艺参数，确定了对应器件寿命值的最大线性跨导的变化率；采用实验的方法确定了在不同的退化机理作用下，引起N沟道热载流子退化的统一模型的工艺参数，并和加速寿命试验进行了比较。随后的研究表明，这些参数是随工艺而变化的。

关键词： MOS器件 快速寿命评价

作者: 章晓文

作者单位: 信息产业部电子五所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 嘉峪关

会议语种:中文

页码: 91-94

在线出版日期: 1999-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）