大口径长焦距非球面的现场检测

摘要：

文中针对大口径长焦距非球面加工过程的检测问题,指出了当前存在的困难与障碍,介绍了克服环境振动和气流影响的相移干涉技术和非球面计算全息补偿器的应用,旨在对当前的非球面加工有所帮助.

关键词： 非球面 干涉测量 干涉仪 补偿器

作者: 高宏刚

作者单位: 岱美有限公司,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年光学测量技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 134-139

在线出版日期: 2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）