光学非球面的环形子孔径检测技术研究

摘要：

环形子孔径技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称的大口径非球面镜的有效手段.文中简要介绍了该技术的检测原理,提出了完整的实验数据处理流程和相应的性能评估方法.数值仿真分析结果表明所提出的数据处理方法具有较高的精度,并报道了对一口径为700mm、F2的抛物面镜进行检测的实验结果,初步显示出该技术应用于大口径非球面镜测试的可能性.

关键词： 光学测量 干涉计量 环形子孔径 非球面

作者: 伍凡 侯溪

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年光学测量技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 110-116

在线出版日期: 2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）