光学测试中的抗振干涉技术

摘要：

移相干涉测量技术是一种非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围.环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许多抗振的方法,大体上分为主动技术和被动技术,本文从这两方面对干涉仪抗振技术的研究进展作了简单介绍.

关键词： 移相干涉仪 抗振干涉 光学测试 环境振动

作者: 陈磊 朱日宏 何勇 王青 高志山

作者单位: 南京理工大学电光学院,南京,210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年光学测量技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 62-70

在线出版日期: 2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）