光学薄膜的常数测试与分析

摘要：

文中介绍了利用透射光谱法对光学薄膜主要参数(包括折射率nλ、小光系统kλ、几何厚度d)的分析方法、数值模拟、测试方法和数据分析.

关键词： 光学薄膜 常数测试 透射光谱 拟合

作者: 季一勤 刘华松 张艳敏

作者单位: 中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所,天津,300192

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年光学测量技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 45-61

在线出版日期: 2006-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）