P一Si上激光诱导局部沉积铂

摘要：

在传统的二硝基二氨合铂（P盐）镀铂配方的基础上，实现P-Si表面激光诱导选择性沉积铂。采用SEM、AES、EDS和XPS技术对得到的镀层进行了形貌、化学组成、电接触特性等方面的研究；并探讨了液相激光诱导化学沉积铂的机理。

关键词： 电镀铂 激光诱导沉积 化学沉积 电镀

作者: 崔启明 应质峰

作者单位: 大学化学系 大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电镀专业委员会第七届电镀年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 84～86

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）