利用电铸技术制作新型微型惯性传感器
电镀技术在超微细加工及微电子机械系统（MEMS）领域有十分重要的应用，该文介绍利用电铸技术，在硅基上用镍材料制作一种新型微型惯性传感器。该器件的总长度2750μm，梁的长度和宽度分别为1430μm和25μm，质量块的宽度为400μm，器件电容的固定极和移动极之间的间距为4μm，微模具厚为200μm，质量块形状为“王”字形。电镀液由氨基磺酸镍（350g/L）和硼酸（40g／L）加少量的润湿剂（0．2℅）组成，工作温度为52℃。
电镀 惯性传感器 电铸技术 超微细加工 微电子机械
刘泽文 刘理天
大学微电子研究所
国内会议
合肥
中文
88～89
1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）