精细线路光学自动检测的挑战与解决方法

摘要：

HDI基板制造依赖于精细线路技术的发展,也多检测技术提出了挑战.本文论述了这些挑战并提出了解决方案.详细介绍了自动检测方法.

关键词： 光学自动检测 HDI基板 精细线路

作者: Udi Efrat Nir Dery Yang Jianhong

作者单位: Camtek Ltd..Migdal Ha” Emek, ISRAEL

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003秋季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 97-103

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）