国内旋转冲洗甩干机研制的新进展

摘要：

CXS系列旋转冲洗甩干机可满足不同加工工艺、不同生产配置的要求,该类设备已用于硅圆片,掩模版,太阳能电池等材料的加工工艺过程.本文将主要对CXS系列机型的构成、结构原理及技术特点做以全面的介绍.

关键词： 微电子器件 制造工艺 旋转冲洗甩干机 技术特点

作者: 杨建忠

作者单位: 中国电子科技集团公司四十五研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国电子制造技术论坛会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 455-462

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）