MCM-D基板形貌自动光学检测系统研制

摘要：

本文介绍了MCM-D基板形貌自动光学检测系统研制过程及其中解决的各种关键技术问题,重点介绍了图像采集、图像处理、故障图像提取和识别技术及精密移动系统的自动控制技术等.

关键词： 自动光学检测 图像采集 图像处理 顶层分离 故障判别 MCM-D基板 基板形貌 集成电路

作者: 王孟先

作者单位: 中电科技集团公司第43研究所恒力公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国电子制造技术论坛会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 438-448

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）