保护气氛烧结炉

摘要：

本文介绍了HIC封装管壳中玻璃绝缘子网带烧结炉的特殊机械结构、氮氢保护气氛系统和电气保护措施.确立了网带炉低速爬行力学模型及炉内合理的气氛流向.

关键词： 玻璃绝缘子 氮氢保护 气氛流向 集成电路 烧结炉 封装工艺 力学模型

作者: 石金林

作者单位: 中电科技集团公司第43研究所恒力公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国电子制造技术论坛会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 417-422

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）