光刻机投影物镜结构型式比较

摘要：

本文分析了光刻机中采用的几种投影物镜的结构型式,比较了各自的优缺点,指出目前光刻机中采用全折射投影物镜作为主流结构型式的原因.

关键词： 光刻机 投影物镜 全折射型 折反射型 集成电路

作者: 黄惠杰 张强 程建瑞 贺荣明

作者单位: 上海微电子装备有限公司(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国电子制造技术论坛会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 394-401

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）