单分散Ni-ZrO<,2>纳米复合镀层的制备

摘要：

论述了纳米颗粒在镀液中的团聚与分散机理.以高分子聚电解质为分散剂,在镀镍溶液中实现了ZrO<,2>纳米粒子的单分散,并在此纳米复合镀镍溶液中制备出单分散Ni-ZrO<,2>纳米复合镀层.分析了分散剂用量与ZrO<,2>纳米粒子悬浮分散性间的相关性,对制备的纳米复合镀层的结构和性能进行了研究.

关键词： 纳米复合镀 单分散 分散剂 电镀 半导体器件 表面处理

作者: 王为 侯峰岩 郭鹤桐

作者单位: 天津大学化工学院应用化学系(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国电子电镀学术研讨会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 17-21

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）