BeO基板微带电路制造工艺研究

摘要：

本文介绍了用于高功率电路BeO基板的性能特点、薄膜金属化要求及其微带电路的加工工艺,并结合实例,介绍了用本工艺加工开发出的高功率开关的性能,对以后的发展方向进行了探讨.

关键词： BeO 蒸发 光刻 高功率开关 电路基板

作者: 杨中华

作者单位: 南京14所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届SMT/SMD学术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 589-591

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）