薄膜微波电路制造新工艺

摘要：

介绍了薄膜微波电路制造的新工艺,包括一次性蒸厚铜工艺和表面金属化的铬层钝化镀金、化学镀镍/化学镀金工艺.将此新工艺用于L波段低噪声放大器电桥的制造和高功率开关的研制,取得了满意的效果.

关键词： 薄膜微波电路 一次性蒸厚铜 铬层钝化 化学镀镍 化学镀金 制造工艺

作者: 王丛香 刘刚 杨中华

作者单位: 信息产业部电子14所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 50-52

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）