厚膜集成正交移相器的探索

摘要：

本文阐述了用厚膜工艺集成正交移相器的一种研制性探索,并对其工艺过程、产品性能进行了讨论.

关键词： 厚膜工艺 正交移相器 制造工艺 性能分析

作者: 石磊 胡海年 高能武

作者单位: 信息产业部电子29所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 32-34

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）