电容式压力传感器的厚膜集成化研究

摘要：

本文采用厚膜传感技术研制电容式感压元件,并通过厚膜混合集成技术和工艺交叉将信号处理电路集成在感压元件上成为一体,进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究.结果表明:研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器,线性达到0.5﹪,迟滞小于0.5﹪,重复性好.具有受分布电容、寄生电容影响小,抗干扰能力强,精度高,抗过载,耐腐蚀等特点.

关键词： 压力传感器 电容式 厚膜混合集成电路

作者: 马以武 虞学犬

作者单位: 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 18-23

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）