微电子器件可靠性动态跟踪

摘要：

本文主要从栅氧化层、热载流子、金属化、静电放电四个方面来讨论亚微米器件的可靠性问题及发展动态。

关键词： 微电子器件可靠性 栅氧化层 热载流子

作者: 黎想 范焕章

作者单位: 华东师范大学电子系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 嘉峪关

会议语种:中文

页码: 112-116

在线出版日期: 1999-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）