CCD芯片漏电的液晶失效定位分析

摘要：

某红外CCD焦平面芯片漏电流大是成品率低的一个主要原因，该种芯片面积大，面积达1.1cm×1.7cm，常规方法进行失效定位存在很大的困难。本文利用液晶方法对其进行了失效定位分析和失效机理分析，发现金属互连线未刻开是造成漏电的原因；另外，还发现生产线中测时对芯片造成了机械擦伤，造成金属互连。

关键词： CCD芯片漏电 液晶失效定位分析

作者: 姜小波 刘发 何小琦

作者单位: 信息产业部电子五所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 嘉峪关

会议语种:中文

页码: 187-190

在线出版日期: 1999-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）