用计算法评价激光调阻后膜电阻器的可靠性

摘要：

该文分析了激光调阻后影响膜电阻器可靠笥的三种，提出了电阻器的电阻材料中工作电压、电流密度和功率密度的简便计算方法，在设计和DPA检查阶段可用此方法评价激光调 阻宽度是否可靠性要求。

关键词： 膜电阻器 激光调阻 可靠性评价 破坏性物理分析

作者: 张延伟 夏泓 陈雁

作者单位: 中国空间技术研究所511所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十届学术年会

会议地点: 大同

会议语种:中文

页码: 283～287

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）