现代工业中的微电子与可靠性技术

摘要：

本文介绍了国内集成电路（IC）市场，微电子技术发展状况，微电子可靠性技术研究领域及发展方向，着重强调微电子可靠性技术与微电子技术要保持同步发展。

关键词： 集成电路 微电子技术 微电子可靠性

作者: 恩云飞

作者单位: 信产部电子五所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 嘉峪关

会议语种:中文

页码: 108-111

在线出版日期: 1999-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）