关键词： 硅集成电路 绝缘衬底 单晶硅膜
作者: 张廷庆
作者单位: 西安电子科技大学(西安)
会议类型: 国内会议
会议名称: 首届全国电子元器件应用技术研讨会
会议地点: 西安
会议语种:中文
页码: 67～72
在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）