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第十二届全国固体薄膜会议
第十二届全国固体薄膜会议
总文献量: 61篇
会议类型: 国内会议
会议地点: 南宁
主办单位: 中国电子学会
会议日期: 2010-11-29
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基底温度对反应磁控溅射氮化铝薄膜的影响
张琳琳 黄美东 李鹏 王丽格 佟莉娜
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