会议类型: 国际会议
会议名称: Proceeding of the First International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia(第一届亚洲精密工程与微/纳米技术国际学术会议)
会议地点: 深圳
会议语种:英文
页码: 754-759
在线出版日期: 2005-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）