High-rate Deposition of Silicon Nitride and Silicon Oxide Films for Surface Passivation and (anti) re-flection Coating Applications

会议类型: 国际会议

会议名称: 15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference(第15届国际光伏科学与工程会议)

会议地点: 上海

会议语种:英文

在线出版日期: 2005-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）