钯/钯掺杂非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的室温氢气敏感特性
氢气既是一种能源气体,又是一种被广泛应用的工业原材料.但是氢气易燃易爆,因此在使用过程中必须对环境中的氢气进行检查.本文中,我们利用磁控溅射方法制备了钯薄膜/钯掺杂非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结材料并用于探测氢气.实验结果发现,该异质结材料的电流-电压特性对氢气非常敏感,比如对1.6％浓度的氢气,n型和p型硅基底的该材料其灵敏度分别为约为13,100％和840％.利用能带理论可以理解该异质结材料的氢气敏感机制.基于该材料的氢气传感器具有功耗低、成本低和室温下灵敏度高等优点.
异质结 电流-电压特性 氢气探测
杜永刚 薛庆忠
中国石油大学(华东)理学院,青岛市,266580;重质油国家重点实验室,青岛市,266580
国际会议
昆明
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14-22
2014-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）