LONG-TERM STABILITY MEASUREMENTS OF SILICON MEMS PRESSURE TRANSDUCERS UTILIZING AN INNOVATIVE HIGH PRESSURE.HIGH TERMPERATURE CHAMBER

作者: David Wisniewiski

作者单位: Meggitt Sensing Systems,Irvine,CA 92606 USA

会议类型: 国际会议

会议名称: The 21th International Congress on Sound and Vibration(第21届国际声与振动大会)

会议地点: 北京

会议语种:英文

页码: 1-8

在线出版日期: 2014-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）