一种微位移纳米定位系统的机械特性分析与控制
本文设计了一种基于三角放大原理的一维纳米定位平台，整个平台运用压电陶瓷作为驱动器，构件之间采用柔性铰链连接，并在此基础上搭建了一种具有结构简单，定位精度高等优点的纳米定位系统.然后对平台进行了包括放大比和刚度等方面的机械特性分析，由此推导出了纳米平台的前三阶固有频率，并对所求得的理论结果进行了验证.进而运用有限元分析软件对上述参数进行了仿真实验，并与理论结果进行了对比.最后，针对压电陶瓷的迟滞非线性特性，采用经典Preisach模型进行了拟合分析和建模，进而根据Ho.控制理论设计了鲁棒控制器，并将控制算法用于实时控制实验在纳米定位平台上予以验证.
钠米定位 压电陶瓷 迟滞非线性 H∞控制
杜志元 刘鹏博 闫鹏 张震
山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室,济南250061 山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室,济南250061;北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院,北京100191 清华大学机械工程学院.北京100084;清华大学精密/超精密装置制造及控制重点实验室,北京100084
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2014-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）