基于机器视觉的大口径光学元件表面损伤检测技术研究进展

摘要：

　　本文介绍了基于机器视觉的大口径光学元件表面损伤检测的相关研究工作与发展现状，分析了暗场成像方式 下的在线和离线两种大口径光学元件表面损伤检测系统，重点对检测系统存在的效率、尺寸标定、子图像拼接、适应 性等关键问题进行了探讨，最后对大口径光学元件表面损伤检测的发展前景和方向进行了展望。

关键词： 大口径光学元件 机器视觉 暗场成像 损伤检测

作者: 陶显 张正涛 张峰 史亚莉 徐德

作者单位: 中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心,北京100190

会议类型: 国际会议

会议名称: The 33th Chinese Control Conference第33届中国控制会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 2935-2940

在线出版日期: 2014-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）