STUDY ON RESONANT FREQUENCY AND IMPEDANCE PROPERTIES OF FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR

关键词： FBAR SMR frequency impedance Bragg reflector

作者: Wen-Liang ZHANG De-Jin HUANG Xin-Yi LUO Ji WANG

作者单位: School of Mechanical Engineering & Mechanics,Ningbo University,Ningbo 315211,China

会议类型: 国际会议

会议名称: The 2013 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications(2013全国压电和声波理论及器件技术研讨会)

会议地点: 长沙

会议语种:英文

页码: 220-222

在线出版日期: 2013-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）