Size-dependent mechanical properties of Parylene-C thin films

关键词： size effect thin film mechanical property Parylene-C microbridge

作者: Yi-Jing Sun Zhi-Ying Li Jun-Yong Lu Wang Zhi-Jia Tong-Yi Zhang

作者单位: Mechanical Engineering,Hong Kong University of Science and Technology,Hong Kong,China

会议类型: 国际会议

会议名称: 第13届国际断裂大会(ICF2013)

会议地点: 北京

会议语种:英文

页码: 1-1

在线出版日期: 2013-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）