以合成訊號模擬科技廠房樓地板背景微振動之研究

隨著晶元元件之尺寸朝向微小化,使得晶元生產作業對環境微振動的要求亦趨為嚴苛。高科技威望為了管線配置一般使用高架地板,而高架地板通常會使樓版的振動放大數倍。本研究將科技廠房中常見的背景振動現象,如搬運設備的行走、機械設備的馬達轉動、空調設備的運轉及人員的走動…等,以現場量測結果利用EEMD技術進行記號分離,建立各振動源的訊號特性,再以MATLAB記號處理程序,利用白噪記號進行人工合成訊號的模擬生成,並與實測訊號比對。最後將人工合成訊號當背景振動訊號,作為SAP200結構分析軟體的壓時輸入資料,進行基座振動特性的探討,並與實測值進行比較分析。研究結果顯示,利用EEMD技術,能將訊號中的主要頻率有效的拆解,而且利用週期波理論能有效的模擬實測結果。利用白噪訊號產生之人工合成訊號能有效的模擬現地背景訊號特性,可取代現場實測訊號以進行基座之壓時分析。因此在未來只要建立足夠的各類活動訊號特性資料庫,則在規劃設計階段就可充分掌握各個基座可符合的微振動規格值。
科技廠房 微振動 白噪訊號 基座
鄭凱仁 楊捷宇 李錫霖
中華大學土木工程學系 中華大學土木與資訊工程學系
国际会议
西安
英文
1-10
2012-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)