溶胶-凝胶法制备Y2O3掺杂ZnO压敏薄膜及其电性能

摘要：

　　研究溶胶-凝胶法制备不同浓度Y2O3掺杂对ZnO-Bi2O3压敏薄膜微观结构和电性能的影响.研究结果表明：Y2O3掺杂ZnO薄膜在750℃空气气氛下退火1h,ZnO薄膜的特征峰与ZnO的六方纤锌矿结构相匹配；ZnO晶粒直径随着掺杂量的增加而减小,Y2O3稀土掺杂氧化锌晶粒细化；薄膜厚度均匀且每一层厚度约80 nm.研究结果还表明：当y3+掺杂浓度为0.2％(摩尔分数)时,ZnO薄膜的非线性伏安特性最好,其漏电流为0.46 mA,电位梯度为110 V/mm,非线性系数为3.1.

关键词： 氧化锌 Y2O3压敏 薄膜 溶胶-凝胶法 电性能 显微组织

作者: 徐东 姜斌 焦雷 崔凤单 徐红星 杨永涛 于仁红 程晓农

作者单位: 江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013;中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京100083;西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室,西安710049;电子科技大学电子薄膜与集成 江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013 江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013;常州明尔瑞陶瓷有限公司,常州213102

会议类型: 国际会议

会议名称: 2012 Postdoctoral Symposium of China on Materials Science & Engineering -- Advanced Materials for Sustainable Development (2012 年中国博士后材料科学与工程学术论坛--先进材料与可持续发展)

会议地点: 上海

会议语种:英文

页码: 405-409

在线出版日期: 2012-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）