MEMS Fabrication and Commercialization in MT Microsystems

摘要：

　　MT Microsystems Co.,Ltd.was founded in 2011 based on nearly 20 years R&D backgroud and the whole experienced team in Hebei Semiconductor Research Institute(HSRI).The first 6-inch pure MEMS Fab of China was established in MT Microsystems at the end of last year.

作者: Yongjun Yang

作者单位: The 13th Research institute of CECT,China,CEO of MT Microsystems Co., Ltd Director of Micro/Nano Technology Centre,HSRI

会议类型: 国际会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第14届学术年会、第3届国际年会暨第6届微米纳米技术“创新与产业化国际研讨与展览会(CSMNT2012 & ICMAN2012)

会议地点: 杭州

会议语种:英文

页码: 1-1

在线出版日期: 2012-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）