The fabrication of piezoelectric vibration energy harvester arrays based on AlN thin film

关键词： 315

作者: Zhengguo SHANG Donglin LI Shengqiang WANG Shengqiang WANG

作者单位: Key Laborator of Fundamental Science on Micro/Nano-Device and System Rechnology,Chongqing University,Chongqing 400030,CHINA;National Center for International Research of Micro/Nano-System and New Material Technology,Chongqing University,Chongqing 400030,CHINA

会议类型: 国际会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第14届学术年会、第3届国际年会暨第6届微米纳米技术“创新与产业化国际研讨与展览会(CSMNT2012 & ICMAN2012)

会议地点: 杭州

会议语种:英文

页码: 1-2

在线出版日期: 2012-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）