Nano-Imprinting Systems and Applications

摘要：

　　Nanoimprint lithography is a method of fabricating nanometer scale patterns.anolithography process with low cost,high throughput and high resolution.It creates patterns by mechanical deformation of imprint resist and subsequent<br>　　<br>　　I processes.

作者: Xiaohua Shi

作者单位: Su zhou GuangDuo Micro,Nano-Device Co.Ltd.,Suzhou,China

会议类型: 国际会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第14届学术年会、第3届国际年会暨第6届微米纳米技术“创新与产业化国际研讨与展览会(CSMNT2012 & ICMAN2012)

会议地点: 杭州

会议语种:英文

页码: 1-1

在线出版日期: 2012-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）