计入热对流和热辐射的MEMS 电热致动器仿真研究
宋荣昌 王军波 王桂磊 娄文忠 通讯作者
北京理工大学,北京,100081 中国人民解放纪念63961 部队,北京,100012 中国科学院微电子研究所,北京,100029
国际会议
中国微米纳米技术学会第14届学术年会、第3届国际年会暨第6届微米纳米技术“创新与产业化国际研讨与展览会(CSMNT2012 & ICMAN2012)
杭州
英文
1-3
2012-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
宋荣昌 王军波 王桂磊 娄文忠 通讯作者
北京理工大学,北京,100081 中国人民解放纪念63961 部队,北京,100012 中国科学院微电子研究所,北京,100029
国际会议
中国微米纳米技术学会第14届学术年会、第3届国际年会暨第6届微米纳米技术“创新与产业化国际研讨与展览会(CSMNT2012 & ICMAN2012)
杭州
英文
1-3
2012-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）