碱性SiO2纳米浆料在材料表面超精密加工的应用

摘要：

本文针对在材料表面化学机械抛光超精密加工中采用酸性浆料所存在的若 干难以解决的问题，创新性地提出了：实现以化学作用为主，机械作用起到质量 传输、温度分布、线速度一致性的新技术路线。有效地解决了纳米SiO2 水溶液 在高PH 值高浓度下易凝聚、易溶解等技术难题。研制出新型的碱性纳米浆料。 其工艺简化、成本低。并很好的解决了酸性浆料所不能解决的众多问题。并有望 将CMP技术运用到65nm以下的45-22nm和晶圆直径大于300mm平整化的技术中。

关键词： 纳米 碱性浆料 化学机械抛光

作者: 刘玉岭 孙薇 武亚红

作者单位: 河北工业大学 微电子技术与材料研究所 天津 300130

会议类型: 国际会议

会议名称: 第六届中国国际纳米科技研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

在线出版日期: 2007-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）