用碱性纳米SiO2浆料对计算机硬盘NiP基板进行CMP超精密加工的研究

摘要：

本文采用碱性纳米SiO2纳米浆料对计算机硬盘NiP基板进行CMP超精密加工与酸性浆料对比在平整度PV, 均匀度rms和粗糙度RA均获得了显著的提高。

关键词： nanoparticle Mg(OH)2 Ni(OH)2 Fe3O4 Mn-Zn ferrite Ni-Zn ferrite CaCO3.

作者: 田军 刘玉岭 唐文栋 张国玲 王立发

作者单位: 河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津,300130

会议类型: 国际会议

会议名称: 第六届中国国际纳米科技研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

在线出版日期: 2007-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）