AFM 恒力扫描反馈控制器设计与实现

摘要：

本文论述了原子力显微镜（Atomic Force Microscope）接触式恒力扫描的反馈控制实现方法。在四象限 PSD（Position Sensitive Detector）传感器信号处理电路和压电陶瓷晶体高压驱动电路的基础上,设计了基 于微处理器的嵌入式控制器,完成了接触式恒力扫描实验。为了补偿压电陶瓷晶体Z 向非线磁滞效应,在 PID 调节的基础上我们加入了基于preisch 模型的前馈预测回路,标准的样品纳米栅格扫描结果显示了补偿 的有效性。

作者: 张纹霖 缪磊 周磊 覃柯 邓长城 董再励

作者单位: 中科院沈阳自动化所机器人学重点实验室;中科院北京研究生院 中科院沈阳自动化所机器人学重点实验室

会议类型: 国际会议

会议名称: 第六届中国国际纳米科技研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

在线出版日期: 2007-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）