会议专题

INFLUENCE OF CONFIGURATIONS OF CHAMBER AND COIL ON UNIFORMITY OF PLASMA DISTRIBUTION FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHER

国际会议

2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会

杭州

英文

2006-11-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)