Magnetic field design and improvement for the rectangular planar DC magnetron sputtering apparatus

国际会议
ⅩⅥ International Conference on Gas Discharges and their Applocations(第16届气体放电及其应用国际会议)
西安
英文
865-868
2006-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
国际会议
ⅩⅥ International Conference on Gas Discharges and their Applocations(第16届气体放电及其应用国际会议)
西安
英文
865-868
2006-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)