MEMS Phase Shifters On Low-resistivity Silicon Wafer

会议类型: 国际会议

会议名称: the 2006 IEEE International Conference Mechatronics and Automation(2006 IEEE机电一体化与自动化国际会议)

会议地点: 洛阳

会议语种:英文

页码: 497-501

在线出版日期: 2006-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）