Production of carbon contained nitrogen plasma using shunting arc discharge for carbon nitride film preparation

会议类型: 国际会议

会议名称: The First Euro-Asian Pulsed Power Conference(EAPPC06)(首届亚欧脉冲功率会议)

会议地点: 成都

会议语种:英文

页码: 92-96

在线出版日期: 2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）