Hydrogen and Ozone SAW Based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNy

会议类型: 国际会议

会议名称: The Sixth East Asian Conference on Chemical Sensors(EACCS-6)(第六届东亚化学传感器会议)

会议地点: 桂林

会议语种:英文

页码: 206-209

在线出版日期: 2005-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）