Study into Design of Cleanrooms for 8 and 12 IC Fabs

会议类型: 国际会议

会议名称: the 18th International Symposium & Exhibition on Contamination Control(第18届国际污染控制学术会议)

会议地点: 北京

会议语种:英文

页码: 532-544

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）