Fabrication of Nanoscale SiC-Based Ceramic Patterns with Near-Zero Residual Layers by Using Imprinting Technique and Reactive Ion Etching

会议类型: 国际会议

会议名称: the Conference of the 7th International Symposium on Eco-Materials Processing & Design(国际生态材料加工与设计大会)

会议地点: 成都

会议语种:英文

页码: 766-769

在线出版日期: 2006-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）