Development of the Micro-Displacement Amplifier for a Novel Tester Measuring Mechanical Properties of MEMS Materials

会议类型: 国际会议

会议名称: the International Conference on Mechanical Engineering and Mechanics 2005 (国际机械工程与力学会议)

会议地点: 南京

会议语种:英文

页码: 1378-1382

在线出版日期: 2005-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）