Zro<,2>厚膜湿敏元件

摘要：

该文介绍了一种适合于厚膜工艺生产的陶瓷湿敏元件，讨论了工艺参数对元件湿敏特性的影响。实验结果表明该元件灵敏度较高，响应时间50秒，一致性和重复较好。

关键词： Zro<,2>陶瓷湿敏元件 厚膜工艺 碱金属添加剂

作者: 魏永广 孙承松 杨玉国

作者单位: 沈阳工业大学信息学院(沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 287～288

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）